Mikrosystemtechnik
Zielstellung
Die Mikrosystemtechnik ist eine der gegenwärtigen Schlüsseltechnologien. Neben mikroelektronischen Bauelementen werden in ein Mikrosystem sowohl mikromechanische als auch mikrooptische Strukturen integriert. Dabei wird prinzipiell in eine monolithe und in eine hybride Systembauweise unterschieden. Den Schwerpunkt der Lehrveranstaltung bilden Technologien der Mikrostrukturierung, der Schichtabscheidung bzw. der Mikroabformung. Eine Einführung in die zukunftsweisende Nanotechnologie wird ebenfalls gegeben.
Schwerpunkte der Lehrveranstaltung
- Einführung in die Mikrosystemtechnik Werkstoffe der Mikrosystemtechnik
- Technologien zur Schichtabscheidung
- Nasschemische Ätzverfahren
- Trockenchemische Ätzverfahren
- Lithografische Verfahren für die Mikrostrukturierung
- Die LIGA-Technik
- Aufbau und Verbindungstechniken der Mikrosystemtechnik
- Beispiele komplexer Mikrosysteme und Einführung in die Nanotechnologie